U22系列(lie)單級減(jiǎn)壓器适(shi)用于高(gāo)純氣體(tǐ)、非腐蝕(shí)性氣體(ti)、腐蝕性(xìng)氣體和(hé)有毒氣(qi)體。膜片(piàn)和閥體(ti)的密封(feng)
采用了(le)硬密封(fēng)
的設計(jì),降低洩(xie)漏率,同(tong)時提高(gao)了安全(quan)性和使(shi)用壽命(ming)🌈。
結構特(te)點
316L不鏽(xiu)鋼母體(ti)
膜片式(shì)硬密封(fēng),洩漏率(lǜ)低
可采(cǎi)用面闆(pan)安裝和(hé)後座安(an)裝
壓力(lì)表标準(zhǔn)連接:1/4" FRS(M), 可(kě)選1/4" FRS(F)
内部(bù)電解抛(pāo)光
高潔(jié)淨的組(zǔ)裝和包(bao)裝适用(yòng)于高潔(jié)淨度的(de)半導體(ti)行業
使(shǐ)用壽命(ming)長
100%氦氣(qì)測試
材(cái)質
母體(ti):316L
閥座:PCTFE, Vespel®
膜(mó)片:316L
上蓋(gài):316
功能特(tè)性
流量(liàng):Cv=1.1
母體洩(xie)漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fá)座洩漏(lòu)率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計(ji)驗證壓(yā)力:最大(dà)額定壓(yā)力的150%
設(she)計爆破(pò)壓力:最(zuì)大額定(dìng)壓力的(de)400%
工作條(tiao)件
最大(da)的入口(kǒu)壓力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出(chū)口壓力(li):0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流(liú)道表面(mian)
标準:Ra 20µin
可(kě)選:Ra 10µin
内部(bu)容積:22.6cc