U53系列減壓器(qi)适用于高純氣體(tǐ)應用，采用内部無(wu)螺紋、非焊接膜片(pian)結構。膜片和閥體(ti)的密封采用
了硬(ying)密封的設
計，降低(di)洩漏率，同時提高(gao)了安全性和使用(yong)壽命。
結構特點
316L不(bu)鏽鋼母體
膜片式(shì)硬密封，洩漏率低(dī)
可采用面闆安裝(zhuang)和後座安裝
壓力(lì)表标準連接：1/4" FRS(M), 可選(xuǎn)1/4" FRS(F)
内部電解抛光
專(zhuān)爲高純淨應用生(sheng)産制造
高潔淨的(de)組裝和包裝适用(yong)于高潔淨度的半(bàn)導體行業
使用壽(shòu)命長
100%氦氣測試
材(cái)質
母體：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜片(pian)：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特性
流(liu)量：Cv=0.054
母體洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fa)座洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗(yan)證壓力：最大額定(ding)壓力的150%
設計爆破(po)壓力：最大額定壓(ya)力的400%
工作條件
最(zuì)大的入口壓力：300 psi (20 bar)
出(chū)口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道(dào)表面
标準：Ra 20 µin
内部容(rong)積
9.3 cc
