U23系列(lie)減壓器适(shi)用于大流(liu)量應用，特(te)别适用于(yu)高純低壓(ya)系統。膜片(pian)和閥體的(de)密封采用(yòng)了硬密封(feng)的
設計，降(jiang)低洩漏率(lǜ)，同時提高(gāo)了安全性(xìng)和使用壽(shou)命❗。
結構特(te)點
316L不鏽鋼(gāng)母體
膜片(piàn)式硬密封(feng)，洩漏率低(dī)
可采用面(miàn)闆安裝和(he)後座安裝(zhuang)
壓力表标(biāo)準連接：1/4" FRS(M), 可(ke)選1/4" FRS(F)
内部電(dian)解抛光
高(gāo)潔淨的組(zǔ)裝和包裝(zhuang)适用于高(gāo)潔淨度的(de)半導體行(háng)業
使用壽(shou)命長
100%氦氣(qi)測試
材質(zhi)
母體：316L
閥座(zuò)：PCTFE, Vespel®
膜片：316L
上蓋(gài)：316
功能特性(xing)
流量：Cv=1.8
母體(tǐ)洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fá)座洩漏率(lǜ)：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證(zhèng)壓力：最大(da)額定壓力(lì)的150%
設計爆(bào)破壓力：最(zuì)大額定壓(ya)力的400%
工作(zuò)條件
最大(dà)的入口壓(yā)力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口壓(yā)力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫度：-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流(liu)道表面
标(biāo)準：Ra 20µin
可選：Ra 10µin
内(nei)部容積
59.9 cc
